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濕式蝕刻製程設備

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SC1, SC2, SPM, RCA, Stripper

Wafer Cassette Wet Bench

濕式清洗設備

濕式蝕刻設備

 

中央供酸櫃

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Wet Bench / 化學櫃

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Clean Bench

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化學櫃

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